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一體式真空機組——集成的真空解決方案

2025-03-21 　來自: 廈門太星機電有限公司 瀏覽次數(shù):47

一體式真空機組集成了主泵和前級泵，適用于高真空需求的工業(yè)應用，如半導體、光伏、化工等領(lǐng)域。了解其技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點及常見問題解答，選擇的真空解決方案。

一體式真空機組

本文詳細介紹一體式真空機組的技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點、應用領(lǐng)域及常見問題解答，特別聚焦于其集成設計和廣泛適用性，為高真空需求提供解決方案。

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一體式真空機組產(chǎn)品特點

集成設計：主泵與前級泵一體化設計，減少安裝空間，提高系統(tǒng)效率。

高真空性能：極限全壓力低至0.5Pa，滿足高真空需求。

節(jié)能環(huán)保：電機功率優(yōu)化設計，降低能耗，符合節(jié)能環(huán)保要求。

易于維護：模塊化設計，便于維護和更換部件，減少停機時間。

廣泛適用性：適用于半導體、光伏、化工、醫(yī)藥等高真空領(lǐng)域。

一體式真空機組技術(shù)參數(shù)

一體式真空機組

應用領(lǐng)域

半導體制造：用于高真空環(huán)境下的晶圓加工和薄膜沉積。

光伏產(chǎn)業(yè)：在太陽能電池板制造過程中提供穩(wěn)定的真空條件。

化工行業(yè)：用于高真空蒸餾、干燥和反應工藝。

醫(yī)藥行業(yè)：在藥品凍干和包裝過程中提供高真空環(huán)境。

科研領(lǐng)域：用于實驗室高真空實驗和設備測試。

應用案例

應用領(lǐng)域：半導體制造
使用設備：JZJLGB1200-5T一體式真空機組
工藝流程：在晶圓薄膜沉積過程中，JZJLGB1200-5T提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境，確保薄膜均勻性和產(chǎn)品質(zhì)量。

設備安裝

詳細說明如何正確安裝一體式真空機組，包括安裝位置選擇、接口連接注意事項以及調(diào)試步驟，確保設備運行穩(wěn)定。推薦由廠家提供安裝指導。

一體式真空機組常見問題解答

1、一體式真空機組的抽氣速率是多少？
答：抽氣速率根據(jù)型號不同，分別為300 L/s、600 L/s和1200 L/s。

2、一體式真空機組的極限真空度是多少？
答：極限全壓力為0.5Pa，適用于高真空需求。

3、一體式真空機組是否適用于高腐蝕性環(huán)境？
答：需根據(jù)具體型號和材料選擇，部分型號經(jīng)過特殊處理可適應高腐蝕性環(huán)境。

4、一體式真空機組的噪音水平如何？
答：采用靜音設計，噪音水平低，適合對噪音敏感的環(huán)境。

5、一體式真空機組的維護是否方便？
答：模塊化設計，便于維護和更換部件，減少停機時間。

6、一體式真空機組是否節(jié)能？
答：電機功率優(yōu)化設計，能耗低，符合節(jié)能環(huán)保要求。

7、一體式真空機組的冷卻水需求是多少？
答：冷卻水壓力為0.2~0.35MPa，流量為10~15L/min，溫度為≤40℃。

8、一體式真空機組的氣體系統(tǒng)參數(shù)是多少？
答：氣體系統(tǒng)壓力為0.05~0.06MPa，流量為20~40L/min。

9、一體式真空機組是否適合半導體制造？
答：是的，適用于半導體制造中的高真空工藝。

10、如何評估一體式真空機組的總擁有成本？
答：綜合考慮設備價格、維護成本、能耗和使用壽命，推薦選擇可靠廠家提供的產(chǎn)品。


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